一种新型的中频交流等离子体电源

• 作者: 危立辉 孙奉娄 陈侃松 顾豪爽
• 来源期刊: 电路与系统学报
• 学科: 工学
• 关键词: 中频交流脉冲等离子体电源 弧光放电 空心阴极效应
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: TN245
• 字数: 2565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-0249.2006.04.017

摘要

研制了一种新型的中频交流脉冲等离子体电源.该电源采用全桥逆变拓扑电路、PWM控制方式、输出功率叠加的方案,具有过流检测与保护功能.在等离子体负载下进行了抑制弧光放电和空心阴极效应的实验,结果表明:交流脉冲放电对弧光放电和空心阴极效应的抑制是非常有效的.它为解决材料表面处理中的难点(小孔、深孔、狭缝的处理)提供了一种新的方案;也为探索磁控溅射新工艺(交流孪生溅射技术)提供了研究设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	危立辉	中南民族大学电子信息工程学院	24	121	6.0	10.0
2	孙奉娄	中南民族大学电子信息工程学院	76	434	13.0	15.0
3	顾豪爽	湖北大学物理学与电子技术学院	86	386	10.0	14.0
4	陈侃松	湖北大学物理学与电子技术学院	38	175	7.0	11.0