多弧离子镀镀制掺氮二氧化钛薄膜及其光吸收特性的研究

• 作者: 万春萍 周友苏 彭京龙 马永新
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 二氧化钛 薄膜 氮掺杂 光吸收特性
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 4206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2006.05.001

摘要

利用多弧离子镀在玻璃衬底上制备了TiO2 薄膜和氮掺杂的TiO2薄膜样品,并对样品进行了220～500℃温度的热处理,通过X射线衍射(XRD)以及UV-Vis分光光度计等测试手段对热处理前后的样品的结构、光吸收特性进行了分析.结果表明:制备出的薄膜为非晶态结构,热处理后向锐钛矿、金红石相转变.理想工艺下镀制的掺氮TiO2薄膜经400℃加热后,TiO2薄膜的光吸收限可由385 nm红移至500 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周友苏	北京联合大学机电学院	7	31	3.0	5.0
2	马永新	北京联合大学机电学院	6	28	3.0	5.0
3	万春萍	北京联合大学机电学院	3	9	3.0	3.0
4	彭京龙	北京联合大学机电学院	1	3	1.0	1.0