新型薄膜应变元件

• 作者: 宋晓辉 杨光
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜应变片 薄膜元件 硅氧化膜 金属基片 耐热性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 18-19
• 页数: 2页
• 分类号: TH70
• 字数: 2535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2006.01.006

摘要

介绍一种改良的薄膜应变片,革新前后对比表明,显著改善了元件特性,应变灵敏度系数高,电阻率高,耐热性良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋晓辉		12	59	4.0	7.0
2	杨光		3	0	0.0	0.0