空心阴极N2+等离子体放电电子温度的研究

• 作者: 余晋勇 刘燕萍 徐重 王建忠 隗晓云 高原
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子温度 等离子体 空心阴极效应 辉光放电 光谱分析
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 223-227
• 页数: 5页
• 分类号: TB71+6
• 字数: 3519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.015

摘要

利用双层辉光放电空心阴极效应,针对N2发射光谱相对强度的变化,采用SⅡ-Ⅳ型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下的光谱进行测绘,获得一系列谱线及测量数据.通过玻尔兹曼方程式求得不同工艺条件下的N2+等离子体的电子温度.并分析了工件电压、源极电压和工作气压对电子温度的影响.结果表明:当工作气压和工件电压一定时,电子温度随源极电压的升高先减小后增大,最后又减小;当源电压一定时,电子温度随工件电压和工作气压的升高而明显减小,并且其减小幅度随源极电压的升高而逐渐降低;当工作气压一定时,工件电压的变化较源极电压的变化对电子温度的影响大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重	太原理工大学表面工程研究所	161	2461	24.0	39.0
2	高原	太原理工大学表面工程研究所	64	555	13.0	19.0
3	王建忠	太原理工大学表面工程研究所	21	155	8.0	10.0
4	隗晓云	太原理工大学表面工程研究所	18	135	7.0	10.0
5	刘燕萍	太原理工大学表面工程研究所	55	298	9.0	12.0
6	余晋勇	太原理工大学表面工程研究所	1	7	1.0	1.0