玻璃上热壁真空沉积生长CdTe薄膜的结构及光学特性

• 作者: 刘祖明 夏朝凤 姚朝晖 廖华 王帆 袁海荣 陈庭金
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热壁真空沉积 CdTe薄膜 结构特性 光学特性
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1236-1240
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+2
• 字数: 3154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.07.016

摘要

采用热壁真空沉积的方法,在清洁的玻璃衬底上生长了不同膜厚的CdTe薄膜,对其结构和薄膜的本征吸收光学特性进行了测量分析研究.XRD测试显示薄膜为多晶,具有标准的立方结构,沿(111)方向有明显的择优取向.晶格常数的计算值为0.649nm,与标准值符合得较好.用Cary 5000型双光束分光光度计测试了薄膜的反射谱和透射谱,显示在本征吸收区透过率随着膜厚的增加和波长的减小而减小.对测量的反射谱和透射谱采用较严格的数学处理,计算得到了描述薄膜宏观光学特性的重要物理量,即薄膜的吸收系数、消光系数、折射率等.用(hvα)2对hv作图,得出了薄膜厚度为0.12,0.48和0.81μm的光学能隙分别为1.54,1.48和1.46eV,证实了材料是直接带隙结构,且在本征吸收的可见光区有高的吸收系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈庭金	云南师范大学太阳能研究所	42	351	10.0	17.0
2	刘祖明	云南师范大学太阳能研究所	60	483	12.0	20.0
3	夏朝凤	云南师范大学太阳能研究所	60	815	15.0	27.0
4	廖华	云南师范大学太阳能研究所	46	298	9.0	15.0
5	袁海荣	云南师范大学太阳能研究所	6	11	3.0	3.0
6	姚朝晖	中国农业大学水利与土木工程学院	7	64	3.0	7.0
10	王帆	云南师范大学太阳能研究所	1	3	1.0	1.0