微光机械振动传感器的设计与制作

• 作者: 伦凤艳 张平 贾宏光 高福斌
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 振动传感器 聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA) 悬臂梁 光波导 灵敏度
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微细加工技术
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2053字
• 语种: 中文

摘要

采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)悬臂梁和光波导集成光路组成,探测光路采用强度调制型开环差分探测,利用光-机转换功能,实现对微小振动量的检测.通过对该器件结构参数的优化设计和幅频特性分析表明,所制备的器件具有灵敏度高、线性度好、抗电磁干扰、工艺简单、成本低等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	180	2022	23.0	35.0
2	贾宏光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	120	1499	18.0	33.0
3	高福斌	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室	8	24	4.0	4.0
4	伦凤艳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	2	5	1.0	2.0