热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进

• 作者: 周灵平 孙心瑷
• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝CVD法 金刚石薄膜 沉积方法 灯丝 现状 高温行为 化学气相 沉积过程 综合评述 沉积膜
• 年，卷（期）: zgcycl,（2）
• 页码范围: 10-14
• 页数: 9页
• 分类号: TQ637

摘要

热丝化学气相（CVD）法沉积全刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视，然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来的“污染”影响了金刚石沉积膜的质量，本文就热丝法中三种常用灯丝（钨丝、钼丝和铼丝）的高温行为的研究现状进行了综合评述。在此基础上，提出了钽丝表面包钨的新实验，以进一步指导热丝CVD法沉积高质量的金刚石。