自由电子激光器在改进芯片生产工艺中的应用

• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 自由电子激光器 生产工艺 芯片 应用 研究人员 氢原子 硅原子
• 年，卷（期）: ygjs_2006,（4）
• 页码范围: 29
• 页数: 1页
• 分类号: TN248.6

摘要

美国范德尔大学的研究人员发现，自由电子激光器能够选择性除去芯片中硅原子表面的氢原子，从而大大改进芯片的生产工艺。