Properties of phosphorus-doped ZnO film deposited by radio-frequency magnetron sputtering

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篇名	Properties of phosphorus-doped ZnO film deposited by radio-frequency magnetron sputtering
来源期刊	重庆大学学报（英文版）	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2006,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	98-101
页数	4页	分类号	TN304.2
字数		语种	英文
DOI

null

Properties of phosphorus-doped ZnO film deposited by radio-frequency magnetron sputtering