SINGULUS TECHNOLOGIES公司的新一代金属溅镀机SINGULUS V

• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: CATHODE SINGULUS V 磁场分布 FOCUS 伺服驱动技术 厚度测量仪 真空系统 电器
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 59-59
• 页数: 1页
• 分类号: TQ595

摘要

【正】SINGULUS TECHNOLOGIES设计的新一代金属溅镀机SINGULUS V。采用通用的设计,能够应用于CD、CD- ROM、CD-R、DVD R和所有DVD格式的生产复制。SINGULUS V 的设计理念是可在两类阴极工作:Focus cathode和Smart cathode。而且Smart cathode阴极可对溅镀仓内的磁场分布进行配置,从而满足所有溅镀工艺的需要。SINGULUS V的设计可适用于所有高