用射频磁控溅射法在c-BN晶体基底上生长c-BN薄膜

• 作者: 吉晓瑞 宫希亮 张铁臣 李英爱 杜勇慧 杨大鹏 杨旭昕 苏作鹏 赵永年
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 高结晶度 生长速率 生长模式
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 953-957
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 2608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.011

摘要

本文用射频磁控溅射方法在片状c-BN晶体基底上生长了c-BN薄膜,显微拉曼光谱(μ-RS)和扫描电子显微镜(SEM)测试结果表明:沉积的薄膜是大约10μm厚、高结晶性、电子透明的高纯c-BN薄膜.岛状和层状生长模式在试验中清晰的展示出来.同时在生长的c-BN薄膜内部和被遮盖的基底部分上发现了籽晶.