椭偏仪数据处理及误差修正

• 作者: 陈云锋 陈炳若
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏仪 薄膜厚度测量 误差修正 软件
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 208-210,216
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 2964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2006.03.015

摘要

提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案,设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件,并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法,使椭偏仪的最终测量结果更加精确.制作了30片厚度梯度分布的标准样片(厚度20 nm～1 μm),用于从"软"、"硬"件两个方面对椭偏仪进行误差修正,使最终的误差小于1%.本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈炳若	武汉大学物理科学与技术学院	21	118	7.0	9.0
5	陈云锋	武汉大学物理科学与技术学院	1	7	1.0	1.0