东方钽业4英寸LN晶片的研究开发

• 作者: 吕晋文 姚敏 李海军 梁斌 胡革全
• 来源期刊: 宁夏工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸锂 晶体 晶片
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TB3165
• 字数: 3079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7244.2006.01.016

摘要

通过检测图片,直观地介绍了衡量晶片加工水平各主要参数的意义;同时,介绍了宁夏东方钽业4英寸LN(LiNbO3)晶片研发的进展,并和目前国外4英寸LN晶片加工水平进行了对比.结果表明,宁夏东方钽业的4英寸LN晶片加工已达到了国际水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚敏		3	24	1.0	3.0
2	李海军		6	35	3.0	5.0
3	梁斌		3	2	1.0	1.0
4	胡革全		3	3	1.0	1.0
5	吕晋文		2	1	1.0	1.0