用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移

• 作者: 姜坤 朱若谷
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 迈克尔逊干涉 压电陶瓷驱动器 微定位工作台
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 281-283
• 页数: 3页
• 分类号: TH741
• 字数: 1834字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2006.04.007

摘要

将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台,通过实验研究了其位移与电压的关系.实验结果表明它们在限定的工作范围内具有良好的二次曲线关系.另外,还对影响系统定位的误差作了相关分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱若谷	中国计量学院计量技术工程学院	17	128	7.0	11.0
2	姜坤	中国计量学院计量技术工程学院	1	16	1.0	1.0