磁悬浮转子微陀螺电容结构设计

• 作者: 刘武 张卫平 邵诗逸 陈文元 黄晓刚
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 航空航天
• 关键词: 磁悬浮 微陀螺 电容检测
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: V241.5
• 字数: 1606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.01.015

摘要

为了实现磁悬浮转子微陀螺的电容检测,使用数值积分方法计算了新型磁悬浮转子微陀螺的电容值与转子倾斜角度的关系.计算确定了电容极板尺寸,电容的连接采用了差动电容的连接方式.通过电容检测电路,检测到了小角度输入范围内的陀螺输出信号.检测结果表明:该电容结构对于静态角度输入具有较好的线性响应,该微陀螺原形的电容结构能够检测到的转子倾斜角度可达到0.1°,对应的电容变化约为1 000 aF,满足了微陀螺对电容检测的要求.