RF MEMS的关键技术与器件

• 作者: 夏牟 郝达兵
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 加工技术 元器件 MMIC
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制造与可靠性
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 5568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2006.01.010

摘要

文章介绍了RF MEMS的基本概念、基本特征与关键工艺技术.文章在介绍了RF-MEMS元器件的基础上,对RF MEMS与MMIC进行了比较,分析了RF MEMS需解决的重点问题.最后对RF MEMS的发展前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝达兵		3	22	2.0	3.0
2	夏牟		3	22	2.0	3.0