非接触表面轮廓测量仪的研制

• 作者: 孙艳玲 谢铁邦 邹华东
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非接触测量轮廓仪 表面形貌 自动聚焦 正交衍射光栅干涉位移传感器 压电陶瓷驱动
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2006.02.002

摘要

本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置,以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统,以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪,用于实现对零件表面粗糙度,波度,表面形状误差和尺寸的综合测量.论文着重介绍了该仪器的整体结构,测量原理及衍射光栅干涉计量系统的工作原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学仪器系	92	848	17.0	24.0
2	邹华东	华中科技大学仪器系	3	4	1.0	2.0
3	孙艳玲	华中科技大学仪器系	2	6	2.0	2.0