碳化硅晶须合成工艺的研究

• 作者: 刘希光 宋祖伟 戴长虹 李旭云 蒋海燕
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 碳化硅 晶须 双重加热 二氧化硅
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2006.01.010

摘要

给出了一种低成本、规模化生产碳化硅晶须的方法.以炭黑和二氧化硅微粉为原料,对双重加热法合成碳化硅晶须进行了研究.确定了合成工艺的优化参数:二氧化硅与炭黑质量比为1.5:1,以三氧化二铁为催化剂,用量为二氧化硅原料总质量的2%,合成温度为1 250℃,合成时间为1.5 h.该工艺条件下可以得到平均直径为0.6μm、平均长度为30 μm、生成率达80%的碳化硅晶须.与常规加热相比,双重加热技术具有节能、省时、生成率高的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴长虹		22	162	7.0	12.0
2	宋祖伟		6	36	3.0	6.0
3	李旭云		4	31	2.0	4.0
4	刘希光		5	103	4.0	5.0
5	蒋海燕		3	31	3.0	3.0