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150mm生产线投产方正微电子突进产业上游
150mm生产线投产方正微电子突进产业上游
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摘要：
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CMOS集成电路用φ150-200mm外延硅材料
硅
外延生长
CMOSEEACC:2520C
0520
宜春钽铌矿150mm炮孔爆破试验
"块状体"结构
半爆
拒爆
等微差爆破
拟建Ф168mm CPE热轧无缝钢管生产线的工艺方案
CPE顶管机组
新建生产线
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设备参数
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混流单元生产线作业单元布局及其投产排序
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期刊影响力
半导体技术
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1003-353X
CN：
13-1109/TN
开本：
大16开
出版地：
石家庄179信箱46分箱
邮发代号：
18-65
创刊时间：
1976
语种：
chi
出版文献量（篇）
5044
总下载数（次）
38
总被引数（次）
24788
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