基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列

• 作者: 伍小平 叶甜春 张青川 李超波 焦斌斌 石莎莉 董凤良 郭哲颖 陈大鹏
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 焦平面阵列 光力学 低压化学气相淀积 氮化硅 噪声等效温度差
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 150-155
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 字数: 3904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.01.030

摘要

选用Au和LPCVD的低应力SiNx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制了热传导对变形梁温升的限制,从而大大降低了系统的噪声等效温度差(NETD),NETD达到约200mK.