微反应器中的微制作技术

• 作者: 于新海 姚华堂 涂善东 王正东
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微反应器 微制作 结构 材料 加工 连接
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 54-60
• 页数: 7页
• 分类号: TQ03|TQ051|TH16
• 字数: 5756字
• 语种: 中文

摘要

探讨了微反应器制作技术的创新与优化,分析了微反应器的基本结构与常用材料,总结了它的三种主要加工技术,即硅体微加工、超精密加工与LIGA工艺,以及四种常用的连接方法,即键合技术、高能束焊接、扩散焊与粘接,指出了在选材、加工、连接等方面应注意的问题,并给出了相应的实例,其中包括一台利用铁-铬-铝不锈钢片制作的甲醇重整制氢微反应器,它采用放电加工和湿法刻蚀技术,用扩散焊实现了连接密封,经100 h的连续试验表明,该微反应器可以与10 W的燃料电池配套使用.最后指出了目前在该领域存在的主要问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	涂善东	华东理工大学机械与动力工程学院	224	2191	25.0	36.0
2	王正东	华东理工大学机械与动力工程学院	96	922	16.0	24.0
3	于新海	华东理工大学机械与动力工程学院	24	125	7.0	10.0
4	姚华堂	华东理工大学机械与动力工程学院	8	123	6.0	8.0