硅微机械谐振陀螺仪的非线性分析

• 作者: 吉训生 王寿荣 盛平 许宜申
• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 陀螺 谐振频率 非线性 双端音叉谐振器
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 惯性仪表研究与设计
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: U666.1
• 字数: 1788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-6734.2006.06.017

摘要

给出了硅微机械谐振陀螺仪的结构,介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,详细推导并给出了陀螺仪的输出频率和标度因数非线性的计算公式;基于影响谐振陀螺仪标度因数的参数,分析了由谐振器的振幅和梳齿静电驱动力引起的硅微机械谐振陀螺仪的非线性特性,给出了振动幅度与谐振频率关系的表达式.实验结果表明,陀螺仪的整体性能主要取决于谐振器振动幅度的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学仪器科学与工程系	94	1158	19.0	28.0
2	吉训生	东南大学仪器科学与工程系	21	436	11.0	20.0
3	许宜申	东南大学仪器科学与工程系	11	162	8.0	11.0
4	盛平	东南大学仪器科学与工程系	13	204	8.0	13.0