非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性

• 作者: 姚宁 张兵临 方莉俐 王朝勇 袁泽明
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 场发射 微波等离子体化学气相沉积 非晶碳 Mo2C
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1347字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2006.02.007

摘要

以镀有Mo过渡层的Al2O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性,开启场强为0.55 V/μm,在1.8 V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8 mA/cm2,发射点点密度大于103/cm2.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	方莉俐	郑州大学材料物理教育部重点实验室	14	56	5.0	7.0
4	王朝勇	郑州大学材料物理教育部重点实验室	6	18	2.0	4.0
5	袁泽明	郑州大学材料物理教育部重点实验室	3	2	1.0	1.0