MSM结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性

• 作者: 任丙振 苑进社 陈光德
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 金属-半导体-金属 叉指电极 电场分布 优化设计
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 416-418
• 页数: 3页
• 分类号: TN302
• 字数: 1212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.04.019

摘要

提出了一种新型具有掩埋电极的金属-半导体-金属(MSM)探测器原型器件结构,并用数值计算的方法研究了其激活层内电场的分布特性,讨论了掩埋电极深度对电场分布的影响,并与传统平面叉指电极结构进行比较,得出该结构对器件性能改善具有重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑进社	西安交通大学应用物理系	10	128	5.0	10.0
3	陈光德	西安交通大学应用物理系	65	517	13.0	18.0
6	任丙振	西安交通大学应用物理系	1	3	1.0	1.0