φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究

• 作者: 于旭东 吕进 孙亮 孙广年 张会选 王进学
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 大直径Al2O3晶体 温度梯度 晶体开裂
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 201-205
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 2579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.046

摘要

采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm ×180mm大尺寸Al2O3晶体.探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于旭东		2	58	2.0	2.0
2	孙广年		2	58	2.0	2.0
3	张会选		1	28	1.0	1.0
4	吕进		1	28	1.0	1.0
5	王进学		1	28	1.0	1.0
6	孙亮		1	28	1.0	1.0