硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究

• 作者: 乔治 许宝建 赵建龙 金庆辉
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微喷阵列芯片 微阵列 深反应离子刻蚀 计算流体力学模拟
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 48-52
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2011字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片.基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失、样品点漂移以及液体回流等问题.在5 kPa气压驱动下,该芯片中的样品能在3.4 mm×3.4 mm的玻璃片上制成5×5样品微阵列,25个点的直径平均值为356 μm,直径的变异系数(25个点直径的标准偏差与算术平均值的比值)为2.8%.计算流体力学模拟结果和实验结果均表明,该微喷阵列芯片能快速、稳定地制作出样品点大小均一的微阵列,进一步推动了微阵列芯片的应用和发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金庆辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室	90	737	15.0	19.0
2	赵建龙	中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室	140	1166	18.0	26.0
3	许宝建	中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室	8	96	5.0	8.0
7	乔治	中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室	5	20	3.0	4.0