微晶硅薄膜太阳电池中孵化层研究

• 作者: 孙建 张晓丹 朱锋 熊绍珍 耿新华 赵颖 高艳涛 魏长春
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微晶硅薄膜太阳电池 孵化层 喇曼光谱
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1030-1033
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 1937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.06.015

摘要

对甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备的微晶硅薄膜太阳电池进行了研究.喇曼测试结果显示:微晶硅薄膜太阳电池在p/i界面存在着一定的非晶孵化层.孵化层的厚度随硅烷浓度的增加或辉光功率的降低而增大.可以通过适当的硅烷浓度或适当的辉光功率来降低孵化层的厚度.