68.5 W连续输出1 060 nm波段半导体激光列阵模块

• 作者: 刘云 套格套 姚迪 尧舜 王立军 路国光
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 高功率激光器 列阵模块 高反膜 增透膜
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1965字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.01.002

摘要

利用InGaAs/InGaAsP应变量子阱外延层材料制作出高功率半导体激光列阵模块.激光芯片宽1 cm,腔长1 200 μm,条宽200 μm,填充密度为50%,前后腔面光学膜分别为单层Al2O3和Al2O3/5(HfO2/SiO2)/HfO2,室温连续输出功率达到68.5 W,器件光谱中心波长为1 059 nm,光谱宽度(FWHM)为9 nm.