工艺参数对VO2薄膜质量的影响研究

• 作者: 乔威 孟召标 李智东 赵昆渝
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 无机sol-gel法 VO2薄膜 相变性质
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 44-49
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.413
• 字数: 3330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2006.06.012

摘要

以V2O4粉末为原料,采用无机sol-gel法在非晶玻璃上制备了V2O5干凝胶膜.后通过两步热处理工艺法成功制备出了具有良好相变性质的VO2薄膜.并对其相成分、退火时间、温度、膜厚、电学性能等进行了分析,比较了各工艺参数对VO2薄膜性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李智东	昆明理工大学材料与冶金工程学院	29	219	9.0	14.0
2	赵昆渝	昆明理工大学材料与冶金工程学院	71	455	11.0	18.0
3	乔威	昆明理工大学材料与冶金工程学院	3	4	2.0	2.0
4	孟召标	昆明理工大学材料与冶金工程学院	2	2	1.0	1.0