厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究

• 作者: 唐力强 王正宏 陈建群 马以武
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜压阻式传感器 导电性能 掺杂改性 灵敏系数
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 33-35,38
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TN4
• 字数: 2639字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.01.012

摘要

探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法.实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关.通过对RuO2脱水温度、合成Bi2Ru2O7固相反应温度和时间控制,并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性,提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数,其值可以达到17左右,达到国际先进水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建群		3	19	2.0	3.0
2	马以武		3	10	1.0	3.0
3	唐力强		2	11	1.0	2.0
4	王正宏		3	10	1.0	3.0