门极换向晶闸管(GCT)扩散阻挡层的研究

• 作者: 刘一婷 卢雪梅 吴春瑜 张馨芳 白永生
• 来源期刊: 辽宁大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散阻挡层 门极换向晶闸管 金属化
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 289-291
• 页数: 3页
• 分类号: TN312
• 字数: 1842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2006.04.001

摘要

通过对多种阻挡层特性的分析,选定了熔点高、化学稳定性好、电阻率低的TiN薄膜作为门极换向晶闸管阳极的阻挡层.采用磁控溅射技术生长的TiN,经俄歇电子谱仪分析表明,TiN阻挡层系统能有效地阻挡硅和铝的相互扩散,可作为门极换向晶闸管阳极理想的阻挡层材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢雪梅	辽宁大学物理系	8	12	2.0	3.0
2	吴春瑜	辽宁大学物理系	56	150	6.0	9.0
3	白永生	辽宁大学教务处	10	26	3.0	5.0
4	刘一婷	辽宁大学物理系	3	20	2.0	3.0
5	张馨芳	辽宁大学物理系	3	1	1.0	1.0