MOCVD法制备Ir/C簇膜的成分与结构研究

• 作者: 万吉高 刘伟平 戴姣燕 方颖 杨家明 欧阳远良 胡昌义 高文桂
• 来源期刊: 贵金属
• 学科: 工学
• 关键词: 低维金属材料 Ir/C簇膜 成分 结构 金属有机化合物化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 21-26,41
• 页数: 7页
• 分类号: TG146.3+4
• 字数: 3075字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0676.2006.01.005

摘要

以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在石英片上沉积了Ir/C簇膜.研究了氧气流量及沉积温度对Ir/C簇膜成分和结构的影响.研究发现,少量氧气的加入(4mL/min)大幅度地降低了Ir/C簇膜中碳元素的含量;沉积温度对薄膜中碳含量的影响规律则比较复杂:未通氧气的情况下,在实验温度范围内碳含量随着温度的升高而增大,而在通入氧气的情况下碳含量呈现出先升后降的复杂变化趋势.大量碳的沉积宽化了Ir的衍射峰,使其具有非晶衍射的特征.当沉积温度为650℃,未通氧气沉积的Ir/C簇膜中铱晶粒粒经约为3nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨家明		19	171	7.0	12.0
2	刘伟平		79	385	9.0	15.0
3	高文桂		29	296	8.0	16.0
4	胡昌义		26	117	7.0	9.0
5	戴姣燕		2	17	2.0	2.0
7	欧阳远良		4	26	3.0	4.0
10	万吉高		4	33	3.0	4.0
11	方颖		2	5	2.0	2.0