微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程

• 作者: 孙远程 杨恒 鲍敏杭 黄宜平
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压膜空气阻尼 微电子机械系统 槽板 雷诺方程
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 473-477
• 页数: 5页
• 分类号: TN603.5
• 字数: 1115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.03.017

摘要

推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽流出所引起的阻尼效应的修正项,并考虑了槽中有限气流通道长度的端头修正.在适当的边界条件下,利用此方程可以求解槽板压膜阻尼的压强分布、阻尼力和阻尼力系数.该槽板结构压膜空气阻尼的微分方程对槽板的厚度和横向尺度没有限制,为分析有限尺寸和有限厚度槽板的压膜空气阻尼提供了一个有用的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨恒	中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室	19	46	4.0	6.0