微纳米加工技术及其应用综述

• 作者: 崔铮
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 微纳米技术 微纳米加工 微系统技术 微小型化
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳米加工技术专题
• 页码范围: 34-39
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 7279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.01.007

摘要

材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征,纳米技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一.微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件,实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术.文章对微纳米加工技术做了一个综合的介绍,简要说明了微纳米加工技术与传统加工技术的区别.在微纳米加工技术的应用方面提出了一些合理选择加工技术的原则,并对当前微纳米加工技术面临的挑战和今后发展的趋势作了预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔铮	英国卢瑟福国家实验室微结构中心	8	189	5.0	8.0