电容式硅微加速度计系统的性能分析

• 作者: 吉训生 王寿荣 盛平 许宜申
• 来源期刊: 东南大学学报（英文版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 灵敏度 谱密度 机械热噪声 阻尼
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 687字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7985.2006.01.015

摘要

介绍了微加速度计的工作原理,得出了不同方向上的加速度计的等效刚度.基于加速度计的集总模型分析,从能量和运动角度推导得出了加速度计的等效质量、精度和灵敏度的具体表达形式.从力学观点,总结了加速度计阻尼的影响因素.对开环和闭环加速度计系统的机械-热噪声的特性和它们各自检测的动态范围进行研究后发现,电容式微加速度计的噪声主要由机械热噪声决定,并取决于加速度计系统的温度和阻尼.对闭环加速度计系统的测量结果表明,系统的精度可以达到mg数量级,量程为±50g的范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吉训生	东南大学仪器科学与工程系	54	470	10.0	20.0
3	王寿荣	东南大学仪器科学与工程系	94	1158	19.0	28.0
6	许宜申	东南大学仪器科学与工程系	11	162	8.0	11.0
7	盛平	东南大学仪器科学与工程系	13	204	8.0	13.0