非热式微流量传感器

• 作者: 秦明 魏泽文 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 非热式 流量传感器 伯努利方程 微机械
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 1065-1070
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4758字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2006.04.021

摘要

基于微机械加工技术的微流量传感器是微传感器中重要的一种,目前,对微流体测量的研究主要集中在对流体流量和流速的测量上,按照测量方式的不同,微流量传感器可分为加热式和非加热式两种.本文概述了可以用来实现非热式微流量传感器的物理原理,并以此分类,综述了已有的非热式微流量传感器,对它们的优缺点进行了分析.通过对这些传感器进行的比较可以发现,虽然它们采取的原理和实现方法以及性能各不相同,但是它们有同样的优点就是功耗小.目前,阻碍非热式微流量传感器应用的最大障碍就是难以实现二维或三维方向的测量以及难以和标准CMOS工艺兼容.