Zn1-xMgxO薄膜p型导电和光学性能

• 作者: 于伟东 张灿云 张霞 李效民 赵俊亮 陈同来 高相东
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超声喷雾热分解 p型Zn1-xMgxO薄膜 导电性能 光致发光
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 503-508
• 页数: 6页
• 分类号: O472.4|O482.31
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2006.04.014

摘要

采用超声喷雾热分解(Ultrasonic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶Si(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg019O,N-Al共掺杂ZnO和N-Al共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜.以X射线衍射(XRD)、场发射-扫描电镜(FE-SEM)、霍尔效应(Hall-effect)、光致发光(Photoluminescence,PL)谱等手段研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性能、光学性能和带隙变化.电学测试结果表明,未掺杂ZnO及Zn0.81Mg0.19O薄膜为n型导电;而N-Al共掺杂ZnO和N-Al共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜呈p型导电.Zn0.81Mg0.19O和N-Al共掺杂Zn0.81Mg0.19O(p型)薄膜在维持ZnO纤锌矿结构的前提下,光学带隙随Mg掺杂量增加而增大.初步结果显示,优化工艺参数下通过Mg掺杂制备光学带隙可调的p型Zn0.81Mg0.19O薄膜,对于试制Zn1-xMgxO基同质p-n结、短波长(紫外、深紫外)器件等方面有重要意义.