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摘要:
用直流磁控溅射和射频磁控溅射共沉积在316L高速钢基体上制备了金属陶瓷复合薄膜.XRD检测表明,复合薄膜中主要以Fe-Cr相为主,并表现出较强的(110)和弱的(211)择优取向.SEM形貌分析显示,复合薄膜表面呈均匀颗粒状,断面形貌为明显的致密等轴晶结构,并具有良好的高温抗氧化性.硬度和耐磨性测试表明,复合薄膜的力学性能比316L块体的有明显改善.
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文献信息
篇名 316L钢+Al2O3金属陶瓷复合膜的制备与组织性能研究
来源期刊 科技咨询导报 学科 工学
关键词 金属陶瓷复合膜 射频溅射R.F Al2O3 奥氏体不锈钢
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目 高新技术
研究方向 页码范围 12,14
页数 2页 分类号 TG1
字数 2265字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-098X.2006.01.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 胡显奇 11 232 5.0 11.0
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研究主题发展历程
节点文献
金属陶瓷复合膜
射频溅射R.F
Al2O3
奥氏体不锈钢
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