基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法

• 作者: 吕湘连 常洪龙 李俊 苑伟政 闫子健
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CAD 宏模型 物理级 Krylov子空间
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1319-1322
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 2493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.002

摘要

基于Krylov子空间投影法结合有限元分析(FEA)建立了一种宏模型提取方法,以便能够在系统级快速地建立器件宏模型.这种方法通过对整个2D或3D器件有限元分析的结果提取宏模型.基于这种方法建立的宏模型具有计算代价低、精度合适的特点,而且能方便地插入到系统级仿真器进行仿真.文中通过一个谐振器结构阐释了这一方法,并且针对所建立的谐振器结构宏模型进行了精确性验证.