基于扫描白光干涉法的接触式轮廓综合测量仪

• 作者: 张玲玲 谢铁邦
• 来源期刊: 轴承
• 学科: 工学
• 关键词: 滚动轴承 干涉测量 接触式测量 数据处理
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 测量与仪器
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.33|TB92
• 字数: 2449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3762.2006.12.011

摘要

介绍了一种基于白光干涉原理的接触式轮廓测量仪,该仪器可用于滚动轴承内外圈滚道及滚动体轮廓形貌的综合测量,其理论分辨率可达纳米级,垂直和水平测量范围可分别达5 mm和50 mm.重点论述了该轮廓仪测量系统的构成、测量原理,并用实例说明干涉信号数据处理过程及结果的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械学院仪器系	92	848	17.0	24.0
2	张玲玲	华中科技大学机械学院仪器系	13	59	5.0	7.0