硅片传输单元洁净系统的研制

• 作者: 丛明 杜宇 沈宝宏
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片传输单元 洁净系统 结构设计
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(环保、洁净与清洗技术)
• 页码范围: 656-659
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.09.005

摘要

在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片.为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法,对洁净系统内部的硅片传输机器人区域进行了流场的模拟分析.该洁净系统已达到设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丛明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	91	1036	16.0	28.0
2	杜宇	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	26	165	7.0	12.0
3	沈宝宏	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	4	80	3.0	4.0