高精度数字式光学膜厚监控系统

• 作者: 蔡邦维 鞠兵 马孜
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 光学膜厚监控 数字式锁相放大器 精度 信噪比
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 283-285
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2006.03.031

摘要

通过对光学膜厚监控系统中光路部分、电路部分以及信号处理部分的噪声分析,设计出频率稳定性良好的斩光器、低噪声光接收电路和具有较强抗噪声性能的数字式锁相放大器,从而显著地提高了系统的精度和稳定性,为提高镀膜成功率和薄膜性能创造了有利的条件.将该系统应用于镀膜系统中,实验结果证实了该系统具有较高的精度和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡邦维	四川大学电子信息学院	66	756	15.0	24.0
2	马孜		27	98	4.0	9.0
3	鞠兵	四川大学电子信息学院	2	1	1.0	1.0