氩离子束蚀刻加工的柱体微透镜阵列

• 作者: Xinyu Zhang
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 折射柱体微透镜阵列 离子束蚀刻
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 42-48
• 页数: 7页
• 分类号: TH74

摘要

理论研究表明，氩离子束蚀刻加工柱体非球面微透镜阵列，柱体球面微透镜阵列和微棱镜阵列具有巨大潜力。实验结果证明，硅（Si）基片上表面轮廓为球面和椭圆面柱体微透镜阵列，表面质量好，均匀一致性佳。给出各种基片材料例如ZrO2，InP，SiO2（石英玻璃）和Si以及相对高温固结光致抗蚀剂（BP212）掩模材料的Ar离子能量和Ar离子束蚀刻速率之间的关系曲线。可以认为，这种技术可用来加工大面积不同表面轮廓柱体微透镜阵列和微核镜阵列。