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摘要:
为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置.在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响.通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.7×10-6Pa,漏率校准范围为10-5Pa·m3/s~10-11Pa·m3/s,合成标准不确定度为1.4%~4.2%.
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文献信息
篇名 固定流导法真空漏孔校准装置
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 工学
关键词 真空漏孔 校准装置 固定流导法 四极质谱计
年,卷(期) 2006,(5) 所属期刊栏目 学术论文
研究方向 页码范围 358-362
页数 5页 分类号 TB77
字数 4758字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.05.005
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李得天 63 622 15.0 20.0
2 郭美如 28 208 8.0 12.0
3 葛敏 2 34 2.0 2.0
4 张周焕 3 34 2.0 3.0
5 王占忠 2 34 2.0 2.0
6 刘波 9 53 3.0 7.0
7 杨新民 2 34 2.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
真空漏孔
校准装置
固定流导法
四极质谱计
研究起点
研究来源
研究分支
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相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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