红外焦平面杜瓦排气残余气体分析实验研究

• 作者: 朱颖峰 葛树萍
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 杜瓦 排气 残气成分
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 293-298
• 页数: 6页
• 分类号: TN215
• 字数: 4592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.05.011

摘要

实验研究用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测,跟踪内部主要气体成分的分压强的大小变化,得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响,介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱颖峰		22	75	5.0	6.0
2	葛树萍		1	5	1.0	1.0