一种新型大尺寸长度校准装置的研制

• 作者: 何小妹 曹铁泽 熊昌友 王继虎 马骊群
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 大尺寸测量 激光干涉仪 校准 阿贝误差补偿
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论研究和现代精密测试技术
• 页码范围: 92-95
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.023

摘要

介绍了一种新型的大尺寸长度校准装置,该装置解决了激光干涉仪等高精度大尺寸长度测量仪器的实验室校准与溯源问题.通过采用三路相干光进行测长,根据两辅助光路与主光路的测长偏差计算阿贝角,实现了阿贝误差的实时补偿.利用标准双频激光干涉仪测试了阿贝误差的补偿精度,35 m测量范围内的比对误差小于±3μm.测量精度达到了单光路同轴测量的水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹铁泽		11	71	3.0	8.0
2	马骊群		14	119	3.0	10.0
3	王继虎		10	36	3.0	5.0
4	何小妹		7	98	3.0	7.0
5	熊昌友		8	121	3.0	8.0