激光调阻中切槽质量与影响因素的关联定位分析

• 作者: 刘立峰 孙继凤 汤建华 满海锋
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 激光调阻 切槽质量 因素分析
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与装置
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 4343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2006.03.007

摘要

在激光调阻中,切槽质量的评价主要包括清晰度、光滑度、平直度、垂直度和一致性等方面的内容,它们直接决定了生产片阻的品质与等级.为了得到优质切槽,掌握切槽质量与影响因素之间的关系,文章从两个角度进行分析.一是在复杂的光、机、电和计算机一体化的设备中,分析影响切槽质量的几个主要因素;二是重点分析并确定切槽质量与相关因素的对应关系.根据这些分析就可以在切槽质量发生不良时定性地得到原因并采取正确措施,无论是对调阻技术的改进还是在片阻生产中都具有重要的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤建华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	154	6.0	12.0
2	孙继凤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	107	4.0	6.0
3	满海锋		1	4	1.0	1.0
4	刘立峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	41	3.0	6.0