准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究

• 作者: 郭商勇 钱晓峰 陈涛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 生物学
• 关键词: 生物芯片 准分子激光 蚀刻 微加工
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术(生物微分析系统与生物MEMS技术专题)
• 页码范围: 47-49,54
• 页数: 4页
• 分类号: Q81
• 字数: 2577字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2006.01.009

摘要

用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片.采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理.进行了表面微通道制作和打孔实验,研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律.结果表明,准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作,而且加工过程简单,是一种行之有效的制作方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
2	郭商勇	北京工业大学激光工程研究院	3	20	3.0	3.0
3	钱晓峰	北京工业大学激光工程研究院	3	14	2.0	3.0