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CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法
CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法
作者:
李金儒
汤跃科
陈宝钦
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微光刻技术
数据格式转换
图形切割
沿边切割算法
摘要:
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性.
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文献信息
篇名
CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法
来源期刊
微细加工技术
学科
工学
关键词
微光刻技术
数据格式转换
图形切割
沿边切割算法
年,卷(期)
2006,(1)
所属期刊栏目
电子束技术
研究方向
页码范围
7-12
页数
6页
分类号
TN305.6
字数
4382字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
陈宝钦
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室
50
361
11.0
16.0
2
李金儒
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室
4
2
1.0
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3
汤跃科
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室
4
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传播情况
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
1997(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1998(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2003(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
微光刻技术
数据格式转换
图形切割
沿边切割算法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
主办单位:
中国电子科技集团公司第48研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1003-8213
CN:
43-1140/TN
开本:
大16开
出版地:
湖南省长沙市
邮发代号:
创刊时间:
1983
语种:
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
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