CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法

• 作者: 李金儒 汤跃科 陈宝钦
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微光刻技术 数据格式转换 图形切割 沿边切割算法
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.6
• 字数: 4382字
• 语种: 中文

摘要

为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宝钦	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	50	361	11.0	16.0
2	李金儒	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	4	2	1.0	1.0
3	汤跃科	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室	4	8	2.0	2.0