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摘要:
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性.
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文献信息
篇名 CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 微光刻技术 数据格式转换 图形切割 沿边切割算法
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目 电子束技术
研究方向 页码范围 7-12
页数 6页 分类号 TN305.6
字数 4382字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈宝钦 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室 50 361 11.0 16.0
2 李金儒 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室 4 2 1.0 1.0
3 汤跃科 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室 4 8 2.0 2.0
传播情况
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引文网络
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二级参考文献  (2)
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研究主题发展历程
节点文献
微光刻技术
数据格式转换
图形切割
沿边切割算法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
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