SiNx和SiC材料的红外吸收特性研究

• 作者: 于晓梅 王欣 田大宇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: 红外 LPCVD PECVD 离子注入
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1778-1780,1784
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 1995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.124

摘要

采用LPCVD和PECVD技术制作了不同厚度的SiNx和SiC材料样品,使用傅立叶变换红外光谱仪对其进行了红外吸收特性测试,并通过离子注入的方式对其红外吸收特性进行调节.实验结果表明:LPCVD SINx材料在8～14μm波段存在吸收峰,而PECVD SiNx和SiC材料在3μm～5μm波段和8～14μm波段存在吸收峰.随着材料厚度的增加,吸收度也增加,1 μm厚的LPCVD SiNx,红外吸收度可以达到0.92.离子注入可改变材料的红外吸收能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田大宇	北京大学微电子学研究院	12	46	5.0	6.0
2	王欣	北京大学微电子学研究院	90	716	14.0	24.0
3	于晓梅	北京大学微电子学研究院	11	65	5.0	8.0